安捷伦科技公司日前宣布其 B1500A 半导体器件分析仪——业界领先的半导体参数分析仪——增强了源表(SMU)和软件功能。
全新 B1514A 50-µs 脉冲中等电流 SMU 可在 30V/1A 范围内提供更快速的脉冲，并提供类似于示波器的视图。全新 B1511B 中等功率 SMU 以较低价格提供 0.1 fA 低电流测量功能，并配有可选的自动传感和开关单元。最新版 EasyEXPERT 5.5 软件使用超过 300 个现成可用的应用测试，支持手动操作，无需复杂编程即可实行远程测试。
安捷伦在八十年代初期推出了业界首款数字参数分析仪，一直以来不断为客户提供出色的参数测试性能与价值。在此基础上，全新 B1500A 能够表征 IV(0.1 fA – 1 A/0.5 µV – 200 V)、电容测试(1 kHz – 5 MHz)和低至 ns 级的超快速脉冲/瞬态 IV 测量。
B1500A 半导体器件分析仪的增强功能包括：
使用 B1514A 50 µs 脉冲中等电流 SMU 进行更快速的脉冲测量。增强型分析仪可以执行低至 50 µs 的脉冲测量，脉宽范围是传统 SMU 的 1/10。此外，该仪器还提供广泛的源范围(高达 30 V / 1A)和多种功能，以及电压/电流可编程性。脉冲 IV 测量通常用于表征目前先进的材料和器件。B1514A 通过 EasyEXPERT 示波器视图监测实际电压和电流波形。借助这个特性，用户能够充满信心地验证脉冲测量设置，快速而简单地优化测量参数。
使用全新 B1511B 中等功率 SMU 与自动传感和开关单元，以较低成本进行低至 0.1 fA 的极低电流测量。这将会实现精确的低电流表征(例如漏电流)，从而加快下一代器件的研发进程。
使用 EasyEXPERT 5.5 轻松完成器件表征。更新后的软件使用远程控制功能来执行内置的应用测试，通过图形用户界面控制开关矩阵，并能扩展应用程序库。它还支持 B1514A 50 µs 脉冲中等电流 SMU 的示波器视图。EasyEXPERT 是一款在 Windows 7 中运行、基于 GUI 的软件;它提供高效、可重复的器件表征，覆盖了交互式手动测量和半自动晶圆上测试。
Agilent B1500A 半导体参数分析仪结合了全新 B1514A 和 B1511B SMU 模块以及 EasyEXPERT 软件，可以构成一个全面的器件表征解决方案，该方案具备多种功能、极高的测量可靠性、高效而可重复的测量。它支持所有先进的参数测试测量，可对器件、材料、半导体、有源/无源器件或任何其它类型的电子器件进行电气表征和评测。
