Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器可作为数字或模拟接口,用来读取指定的全流量范围及温度范围的气流数据。 该系列传感器采用热隔离散热器和感温元件,有助于对空气流或其它气流做出快速响应。
Zephyr 传感器专用于测量空气和其它非腐蚀性气体的质量流量。 这类传感器具有 ±50 SCCM 至 ±750 SCCM 的标准流量检测范围。 通过板载专用集成电路 (ASIC) 对传感器进行全面校准和温度补偿。
HAF 系列传感器的补偿温度范围为 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F],工作温度范围为 -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]。 基于最新的 ASIC 补偿方式,能够以 1 ms 的响应时间提供输出。
这些传感器利用传热原理测量空气的质量流量。 它们由微桥型微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,该系统包含由铂和氮化硅薄膜沉积而成的温度敏感型电阻器。 MEMS 感应片位于精心设计的精密气流通道中,可对流量进行重复响应。