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来自 Omron 的 D6F-PH 数字差分压力型质量流量传感器配备 I²C 输出，采用 Omron 专有的质量流量 MEMS 芯片。 但是，该器件内部流量通路已经过重新设计，形成了能输出差分压力的低流量、高速率/高阻抗传感器。 这款传感器有三种型号且每个型号对应一个特定的压力范围。 这款传感器可以校准多种不同的气体。
