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Measurement Specialties 的 3022 型加速计是一款采用惠斯通电桥配置的硅 MEMS 加速计。 该加速计封装在带有环氧树脂密封陶瓷盖的陶瓷基底上，专用于粘接安装。 该加速度计的动态范围为 ±2g 至 ±200g，并具有最低 2000 Hz 的平坦频率响应。 该硅 MEMS 传感器采用气体阻尼结构，并具有超量程停止保护功能，可使其免受高 g 值加速度的冲击。
